氣體管路控制系統(tǒng)作用

主要由氣源切換系統(tǒng)、管道系統(tǒng)、調(diào)壓系統(tǒng)、用氣點(diǎn)、監(jiān)控及報(bào)警系統(tǒng)組成。對(duì)于一些易1燃易1爆氣體，如氫氣等，可能在設(shè)計(jì)和施工過(guò)程中稍有差異，必須加入氣體回火防止器等安全控制裝置。

閥門(mén)是在流體系統(tǒng)中，用來(lái)控制流體的方向、壓力、流量的裝置，是使配管和設(shè)備內(nèi)的介質(zhì)(液體、氣體、粉末)流動(dòng)或停止并能控制其流量的裝置。閥門(mén)是管路流體輸送系統(tǒng)中控制部件，用來(lái)改變通路斷面和介質(zhì)流動(dòng)

方向，具有導(dǎo)流、截止、節(jié)流、止回、分流或溢流卸壓等功能。

氣體管路控制系統(tǒng)可以用于管理控制氣體供應(yīng)，包括流量，壓力，開(kāi)關(guān)等，同時(shí)帶有泄漏報(bào)警1燈功能，能夠有效保護(hù)用氣安全。

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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹

大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類(lèi)包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)（氣體種類(lèi)包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線(xiàn)（氣體種類(lèi)包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類(lèi)包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類(lèi)包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線(xiàn)（氣體種類(lèi)包括HCL）等行業(yè)。實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)氣體管路指氣瓶至儀器終端之間連接管線(xiàn)，一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門(mén)-管線(xiàn)-過(guò)濾器-報(bào)警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成，輸送氣體為實(shí)驗(yàn)室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

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電子特氣系統(tǒng)的維護(hù)

由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風(fēng)險(xiǎn)的供應(yīng)系統(tǒng)，因此在生產(chǎn)線(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)的維護(hù)需要專(zhuān)業(yè)、有經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護(hù)主要包含氣體柜維護(hù)和管路維護(hù)。

（1）特氣柜又分為全自動(dòng)特氣柜與半自動(dòng)特氣柜，每種氣柜的維護(hù)方法有一定的區(qū)別。含氫40%，其余是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測(cè)儀的燃料氣。全自動(dòng)氣柜維護(hù)自動(dòng)化程度較高，并且安全可靠。在維護(hù)前關(guān)閉鋼瓶閥門(mén)，設(shè)置換瓶吹掃，程序自動(dòng)進(jìn)行抽氣，置換等動(dòng)作，根據(jù)氣體性質(zhì)的不同，一般至少吹掃60次以上，負(fù)壓保壓30分鐘以上，確保氣柜各管路與閥門(mén)吹掃干凈。

（2）管路的維護(hù)，由于不同的氣體性質(zhì)不一樣，對(duì)管路維護(hù)的方法也不相同，對(duì)腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮?dú)獯祾撸∟2purge），一般至少反復(fù)30次，對(duì)于有吸附性的液態(tài)源氣體，由于管路容易堵塞，需要多次的反復(fù)的抽真空，抽完后關(guān)閉閥門(mén)，1小時(shí)后會(huì)出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象，會(huì)造成管道泄漏的誤導(dǎo)，遇到此情況打開(kāi)真空器發(fā)生器繼續(xù)抽，直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25。

以上兩種系統(tǒng)維護(hù)后都必須做正壓與負(fù)壓的保壓測(cè)試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍，負(fù)壓保壓為-12PSI，保壓時(shí)間至少120分鐘以上，由于壓力傳感器（PT）受溫度的影響，一般有2PSI的正負(fù)波動(dòng)。

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特氣系統(tǒng)知識(shí)分享：一般混合氣體

由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標(biāo)出大致濃度,即可滿(mǎn)足使用要求,這種氣體稱(chēng)為一般混合氣體。

對(duì)氣體分析儀用氣體,如含氫10%，其余是氦的混合氣以及含甲1烷5%或10%；含氫40%，其余是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測(cè)儀的燃料氣。

在測(cè)定放1射性物質(zhì)時(shí),使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0.95%,或含丁烷1.3%，或含丙烷1.5%，或含甲1烷5%～10%，均以氦為底氣。

深海呼吸用含氧20%～60%,其余是氮或氦的混合氣。激光用氣含CO24%～16%,N210%～25%，其余是氦。

光化學(xué)反應(yīng)、動(dòng)植物實(shí)驗(yàn)室和金屬腐蝕等研究用的混合氣因關(guān)系到公害問(wèn)題,所以其中二氧化氮、二氧1化硫和硫1化氫等都要保持低濃度。

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